泵浦方式：半導體泵浦

掃描范圍：110mm× 110mm

掃描速度：≤7000mm/s

一次刻劃深度：0.01～0.1mm（可調)

一次刻劃線寬：0.1～0.2mm(可調)

運行參數：

主運動行程(X向)：≤1150mm

縱向運動行程(Y向)：≤200mm（可訂做）

垂直運動行程(Z向)：≤180mm（可訂做）

刻制量程：≤1000mm

精度指標：

X向定位精度：±3um

X向重復精度：±2um

相鄰刻線間距差：≤3um

任意刻線線寬差：≤8um

全程刻線累計誤差：≤12um